Les plasmas sont des gaz ionisés contenant des ions, des électrons et des espèces excitées pouvant être utilisés pour modifier les propriétés d’une surface. Les plasmas utilisés en R&D et en industrie sont appelés plasmas froids. Cette dénomination vient du fait que le gaz reste à des températures proches de l’ambiant, le transport d’énergie étant assuré presque exclusivement par les électrons. Cette particularité fait des plasmas, un milieu particulièrement réactif et efficace d’un point de vue énergétique. Ces plasmas peuvent être générés par un champ électrique soit dans un gaz à basse pression soit à la pression atmosphérique. Les plasmas basse pression, ou sous vide, opèrent à des pressions de l’ordre de 10^-2 hPa  ce qui nécessite un équipement particulier. Dans le cas de la (PE)CVD, le dépôt est obtenu par décomposition d’un précurseur gazeux sous l’effet de la température ou d’un plasma.